装置故障情報・装置メンテ・装置その他、設備管理情報
2025年 12月15日（17：28）
☆年末年始を含めた窒素充填予定を記載しました
【装置故障情報】
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装置番号 装置名称 |
発生日 | 内容 | 対応 | 現在の状況 |
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1-33 スパッタ装置2号機 |
2025年10月21日 |
搬送アームトラブル |
修理 |
使用不可 |
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PDL No.1-17 ダイシングソー |
2025年9月2日 |
マザーボード故障によりタッチパネルが映らない |
PC交換修理 |
使用可 |
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ミリ波 No.114 FIB-SEM |
2025年8月27日 |
SEMシャッターイニシャライズ 失敗 |
9/1 SEMシャッター 取り外し中（メーカ調査） |
使用可 ※下記FIB操作は不可 ・U-roughモード 30分以上使用 ・終夜運転 |
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ミリ波 No.106 ICPメタルエッチ |
2024年11月29日 |
熱交換ユニットウォーターポンプ故障により冷却水停止中 |
空冷で使用 (マニュアル通りバルブを開けても冷却水は流れませんご注意ください) |
使用可 |
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PDL No.2-2 FIB-SEM |
2023年5月20日 | Wデポバルブのリーク |
修理検討中 ミリ波FIB-SEMで Wデポ可 |
SEM観察可 Cデポ可 Wデポ不可 |
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PDL No.1-33 スパッタ装置2号機 |
2023年9月 | DCスパッタ放電不良 | DCスパッタ使用不可 | RFスパッタ使用可 |
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PDL CR2 光学顕微鏡 |
2024年7月29日 | 落射照明用ランプBOX故障 |
透過照明用ランプ BOXと交換 |
透過照明観察不可 |
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ミリ波2F No.241 テラヘルツ時間領域分光装置 TAS7500SP（標準帯域） |
2024年11月5日 |
PQテストでFail発生 ※レーザーへの電流増加と 検出電場強度の低下、 周波数が設定範囲から逸脱 している |
修理品納入されたものの 立上げ調整不良により 再持ち出し（9/10） →再搬入（10/16） 調整完了 |
利用可 |
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ミリ波 No.112 メタルスパッタ CS-200 |
2025年4月15日 |
冷却水水量不足 |
共通チラー修理時に確認 |
使用不可 |
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ミリ波 No.101 電子ビーム露光装置 |
2025年12月1日 |
CWCエラー発生 床下冷却水ホースより水漏れ （破損） |
チラー不良 （CH1の冷却水が流れていない） →メーカ修理予定で見積入手済み →チラー修理と合わせてホース交換が可能か確認中 |
使用不可 |
【装置メンテ】
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装置番号 装置名称 |
実施日 | 内容 | 備考 |
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PDL No.1-43 スクライブ装置 PDL No.1-44 ブレーキング装置 |
2025年11月27日予定 （他候補日：12月1日、12月4日) |
24V電源交換 （ロット不良品のため） |
【装置その他】
＜ミリ波棟203評価室＞
No.223：アナログ信号発生器１（E825D、67GHz）
長期持ち出し中により利用不可
【設備管理情報】
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12月16日(火) 午後 |
【両棟液化窒素充填】 |
両棟充填の予定です CE前に駐車しないで下さい |
12/15 |
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12月22日(月) 午後 |
【両棟液化窒素充填】 |
両棟充填の予定です CE前に駐車しないで下さい |
12/15 |
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12月26日(金) 午後 |
【両棟液化窒素充填】 |
両棟充填の予定です＜年内最終充填です＞ CE前に駐車しないで下さい |
12/15 |
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1月5日(月) 午後 |
【両棟液化窒素充填】 |
両棟充填の予定です＜年初最初の充填です＞ CE前に駐車しないで下さい |
12/15 |
