装置一覧
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1-4 CVD装置 PD-220NLJ（SAMCO）
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1-6 EB蒸着#1 AAMF-C1050SB（神港精機）
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1-7 EB蒸着#2(リフトオフ) AAMF-C1050SB（神港精機）
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1-8 抵抗蒸着 L-043E-TN（ANELVA）
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1-9 RFスパッタ EB1100（ANELVA）
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1-33 スパッタ#2 ES-380WL（エイコー）
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1-11 F系ICPエッチ#1 RIE-101iPHJF（SAMCO）
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1-34 F系ICPエッチ#2 RIE-400iPF（SAMCO）
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1-12 CL系ICPエッチ#1 RIE-101iPHJ（SAMCO）
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